La 7N telura purigprocezo kombinas zonrafinadon kaj direktivan kristaligajn teknologiojn. Ŝlosilaj procezdetaloj kaj parametroj estas skizitaj sube:
1. Zona Rafinada Procezo
Ekipaĵa Dezajno
Plurtavolaj ringoformaj fandboatoj: Diametro 300–500 mm, alto 50–80 mm, faritaj el altpureca kvarco aŭ grafito.
Hejta sistemo: Duonrondaj rezistaj bobenoj kun temperaturkontrola precizeco de ±0,5 °C kaj maksimuma funkcianta temperaturo de 850 °C.
Ŝlosilaj Parametroj
Vakuo: ≤1×10⁻³ Pa tra la tuta ujo por malhelpi oksidiĝon kaj poluadon.
Zono-vojaĝrapideco: 2–5 mm/h (unudirekta rotacio per transmisia ŝafto).
Temperaturgradiento: 725±5°C ĉe la fronto de la fandita zono, malvarmiĝante ĝis <500°C ĉe la malantaŭa rando.
Trapasoj: 10–15 cikloj; foriga efikeco >99.9% por malpuraĵoj kun apartigkoeficientoj <0.1 (ekz., Cu, Pb).
2. Direkta Kristaliĝa Procezo
Preparado de fandado
Materialo: 5N teluro purigita per zona rafinado.
Fandokondiĉoj: Fandita sub inerta Ar-gaso (≥99.999% pureco) je 500–520°C uzante altfrekvencan induktan hejtadon.
Protekto kontraŭ fandado: Altpureca grafita kovrilo por subpremi volatiliĝon; profundo de fandita naĝejo konservata je 80–120 mm.
Kristaliĝa Kontrolo
Kreskorapideco: 1–3 mm/h kun vertikala temperaturgradiento de 30–50 °C/cm.
Malvarmigsistemo: Akvomalvarmigita kupra bazo por deviga malvarmigo sube; radia malvarmigo supre.
Malpuraĵa apartigo: Fe, Ni, kaj aliaj malpuraĵoj riĉiĝas ĉe grenlimoj post 3-5 refandaj cikloj, reduktante koncentriĝojn al ppb-niveloj.
3. Kvalitkontrolaj metrikoj
Parametro Norma Valoro Referenco
Fina pureco ≥99.99999% (7N)
Totalaj metalaj malpuraĵoj ≤0.1 ppm
Oksigena enhavo ≤5 ppm
Kristala orientiĝa devio ≤2°
Rezistiveco (300 K) 0,1–0,3 Ω·cm
Procezaj Avantaĝoj
Skalebleco: Plurtavolaj ringoformaj fandboatoj pliigas la kapaciton de la aro je 3-5× kompare kun konvenciaj dezajnoj.
Efikeco: Preciza vakuo kaj termika kontrolo ebligas altajn forigrapidecojn de malpuraĵoj.
Kristala kvalito: Ultramalrapidaj kreskorapidecoj (<3 mm/h) certigas malaltan dislokacian densecon kaj unu-kristalan integrecon.
Ĉi tiu rafinita 7N teluro estas kritika por progresintaj aplikoj, inkluzive de infraruĝaj detektiloj, CdTe-maldikfilmaj sunĉeloj, kaj duonkonduktaĵaj substratoj.
Referencoj:
indiku eksperimentajn datumojn de kolegaro-reviziitaj studoj pri telura purigo.
Afiŝtempo: 24-a de marto 2025